Stock Code:002962
Semiconductor Optical Products
ALD products
Technical Specifications
| Equipment（設(shè)備） | 詳情 |
|---|---|
| ALD | ALDER - 1000 |
| Capacity（能力） |
Up to 45 φ300 wafers per batch (≥ 5hour per batch) 每批最多 45 φ300 個晶片（每批 ≥ 5 小時） |
| Product Characteristics（產(chǎn)品特性） | 詳情 |
| Substarte Material（材料） |
Resin - based, glass - based, silicone - based substrate 樹脂基、玻璃基、硅基 |
| Product Type（產(chǎn)品類型） |
Various types of flat and aspherical mirror coating; wafer coating (within 12"); Shaped structure coating 各類平片、非球面鏡鍍膜；晶圓鍍膜（12“以內(nèi)）；異形結(jié)構(gòu)鍍膜 |
| Coating material（鍍膜材料） | SiO?, TiO?, Al?O? |
| Optical properties（光學(xué)特性） | 詳情 |
| Wavelength（工作波段） | 420 - 700nm |
| Reflectivity（420 - 700nm）（反射（420 - 700nm）） | Rmax<0.1% |
| Wide - angle（0°~40°）（大角度（0°~40°）） | Rmax＜0.5% |
| Appearance（外觀規(guī)格） | 詳情 |
| Appearance（外觀水平） |
Surface Particle：1.0~10um 表面 Particle：1.0~10um |
Stock Code:002962
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